QuantumDiamonds Reaches Key Milestone on the Path to Inline Electrical Inspection with Contact-Free Current Imaging
QuantumDiamonds GmbH は、マイクロ波場とダイヤモンド量子センサーを用い、物理的な電気的接続を必要とせずに半導体構造内の電流を可視化する非接触手法を実証した。同社は、この手法により電流イメージングが故障解析ラボから量産のインライン検査へと移行できるとしている。電磁的に電流を励起し、磁場測定を電流分布マップへ再構成することで、ハイブリッドボンディングや積層構造における検査の空白を埋める。同社は特許を出願済みで、主要半導体メーカーと技術の評価を進めている。
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