PERTE-Chip：半導体検査向け非線形吸収レーザーシステム

PERTE-Chip - Non-linear absorption laser system for semiconductor inspection

FYLAは、二光子吸収過渡電流法を用いた半導体材料の非破壊検査システムを開発するPERTE-CHIPプロジェクトに参画している。本システムは半導体チップ製造の品質管理工程への統合が想定されている。次世代CMOSピクセル検出器の解析にも活用される予定である。本事業はNext Generation EUの資金提供を受け、スペインおよび欧州のマイクロエレクトロニクス能力の強化を目指す。