Axus Technology

半導体向けCMP装置を製造する米国企業

概要

半導体および化合物半導体の製造に用いるCMP(化学機械研磨)装置を製造する。炭化ケイ素デバイスの加工に強みを持つ。IntrinSiC Investmentから株式出資と与信枠で資金を調達した。

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