Microtechnology: Foundations, Applications and Future Perspectives
Hummink は、およそ1〜1,000マイクロメートルの領域で動作するデバイスを対象にマイクロテクノロジーを概観した。MEMS 市場は2023年に150億ドル超、2030年には300億ドル超に達する見込みで、医療診断、車載センサー、民生機器、精密製造などに応用されている。課題としてクリーンルーム建設に5億ドルを超える費用がかかること、パッケージング統合がデバイス費用の60〜80%を占めることを挙げ、今後はAIの活用、生体統合型フレキシブルエレクトロニクス、持続可能な製造が方向性になると論じている。
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