Multibeamは、Lam Research Corporationを1980年に創業して初代CEOを務めたDr. David K. Lamが創業者・CEO・会長を務める、半導体製造装置企業である。同社の説明によると、電子ビームリソグラフィはこれまで研究開発向けの存在にとどまっていたが、小型の電子ビームカラムをアレイ化したマスクレス・高スループットのプラットフォームにより、量産向けの製造ツールへ転換することを目指している。リソグラフィコストの削減、ICサプライチェーンの保護、マイクロエレクトロニクス製造の刷新を掲げ、カリフォルニア州シリコンバレーで事業を行う。