Multibeam Secures First Taiwan Order for Newly Launched MBX Platform
Multibeam Corp は、新たに投入した第2世代のマルチカラム電子ビームリソグラフィ装置「MBX」プラットフォームについて、台湾で初となる受注を獲得したと発表した。発注元は国立清華大学（NTHU）で、装置は同大学の半導体研究学院に納入される。新設される施設に設置され、学術研究のほか、台湾の主要半導体メーカーとの共同開発プロジェクトに活用される予定である。
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