インヴィシックス

Invisix

軟X線で3D微細構造を測る半導体計測装置を開発するオランダ企業

概要

軟X線を用いた半導体計測装置を開発するオランダ・アイントホーフェンの企業で、2025年設立。可視光より短い、測る構造の寸法に合わせた波長の光を照射し、回折信号から3次元形状を再構成して製造プロセスの制御にフィードバックする。GAAやCFETといった立体構造のロジック・DRAMを対象に、ナノシート単体の断面形状、製品セル単位のオーバーレイ、CFETマンドレルの膜構成などを測る用途を挙げ、従来の光学CD計測(OCD)より4倍以上多いパラメータを同時に推定できるとする。ASMLからライセンスした特許を技術基盤とする。

創業の背景

Invisixは2025年にオランダのアイントホーフェンで設立された半導体計測の企業である。同社は、約10年にわたりASML社内で2015年から育てられてきた軟X線計測の研究開発を事業化するために独立したと説明している。CEOのChristina Porterはコロラド大学ボルダー校で物理学の博士号を取得し、2015年にこの構想をASMLに提案して渡欧、ASMLで軟X線計測の開発に約7年携わった。CTOのSietse van der Postも12年間ASML Researchに在籍した。素子が3次元化し、可視光では内部を解像できなくなった課題の解決をめざす。

出典: invisix.com / invisix.com / invisix.com

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