AlixLabsがNanoICパイロットラインでAPS™技術の評価を開始

AlixLabs begins APS™ technology evaluation within the NanoIC pilot line

スウェーデンの半導体装置企業AlixLabs ABは、imecが調整するNanoICパイロットラインで、原子層エッチ・ピッチスプリッティング(APS™)技術の6か月間の評価プロジェクトを開始する。imecが線幅・間隔構造を準備して特性評価を行い、AlixLabsはまずクーポンでAPS™プロセスを開発した後にフルウェハへ移行する。評価はCD均一性、ラインエッジラフネス、ピッチウォーキング、確率的欠陥などの指標で行われる。

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