AlixLabs

原子層エッチングで多重パターニング工程を置き換えるスウェーデン企業

概要

半導体の微細パターン形成に使う原子層エッチング（ALE）装置を開発する。独自方式の Atomic Pitch Splitting（APS）は、複数回に分けて行うパターニング工程を1つの工程に置き換えるもので、処理時間やチャンバー台数、エネルギー使用量、クリーンルームの複雑さを下げられるとしている。装置としてはチャンバー Sax Forma を手がけ、2026年時点でベータ機が VDL Projects で最終組立段階にある。対象はロジックおよびメモリの微細化を続けるチップメーカー。拠点はスウェーデンのルンドで、RISE ProNano 内の施設を拡張している。

創業の背景

AlixLabsは2019年にスウェーデンのルンドで設立された半導体製造装置企業で、CEOのJonas Sundqvist氏、CSOのDmitry Suyatin氏、Stefan Svedberg氏らが共同創業者に名を連ねる。オングストローム世代の半導体製造をより手の届きやすく、持続可能で安価なものにすることを使命に掲げ、原子層エッチング（ALE）に特化した世界唯一の企業だと自称している。複数回のパターニング工程を1工程に置き換えるAtomic Pitch Splitting（APS）の開発を軸に、現在はフルタイム12名の体制で、特許10件を保有すると公表している。

出典: www.alixlabs.com / www.alixlabs.com