AlixLabs and VDL ETG Projects Announce MoU for APS™ Patterning Technology Industrialization
AlixLabs AB は、半導体パターニング向け APS（Atomic Pitch Splitting）装置の生産を進めるため、VDL ETG Projects と基本合意書（MoU）を締結した。合意に基づき、VDL ETG Projects が産業用 APS 装置の開発と製造を担い、研究開発段階の技術を量産対応システムへと引き上げる。両社は原子層エッチングを用いた製造を先端半導体向けにスケールさせることを目指す。複雑なマルチパターニングや EUV リソグラフィに対する低コストな代替手段として位置づけている。
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