AlixLabs launches Sax Forma for the Ångström era
AlixLabs は、先端半導体製造向けの APS（Atomic Pitch Splitting）装置プラットフォームとして初めて商用提供する Sax Forma を発表した。パートナーの VDL ETG Projects と共同開発した装置で、Intel のテストシリコン上でハーフピッチを25nmから12.5nmへ縮小した。まずは顧客評価とプロセス統合のためのベータ機として投入される。さらに2028年には Gamma プラットフォームの投入を計画している。
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