AlixLabs Receives Notice of Allowance in Taiwan for Selective Etching Nanostructures Patent
AlixLabs は、ナノ構造の選択的エッチング手法に関する特許について、台湾知的財産局から特許査定通知（Notice of Allowance）を受領したと発表した。対象となるのは、ナノスケールで制御された材料除去を可能にするマスクレスの選択的エッチングプロセスで、20nm 未満の FinFET やゲート・オール・アラウンドといった先端トランジスタ構造を想定している。同社は、戦略的に重要な半導体市場である台湾での特許ポートフォリオが強化されるとしている。残る手続きが完了すれば特許として登録される見込みだ。
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